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亦即，步进电机的驱动脉冲波连续自动扫频，每次记录频率分析的结果用三维表示。Y(倾斜）轴表示步进电机脉冲频率，X(横）轴表示振动频率，Z(纵）轴表示振动加速度。由此可以看出，何处的驱动脉冲，频率多少时，会产生的振动大小，一目了然，易于分析振动结果。根上振动分析图，从振动大的地方看到，驱动脉冲的基波频率造成振动成分，且出现的振动点为其偶次谐波，180pps附近的振动为振动加速度与转子及其负载系统的自然频率的共振。


减速器的齿隙极小。此种减速器为谐波减速器，其外圆为Z1齿，内圆为Z2齿轮，谐波齿轮的外圆为椭圆形的波形发生器，滑动运行，使外椭圆变形，形成（Z2-Z1）/Z1高减速比。此时，外椭圆为复式啮合，成为小齿隙的减速器。实际上，此减速器常用于要求位置控制精度高的步进电机上。此种减速器能解决低惯量问题或低速大转矩问题。但此减速器的效率比普通减速器要低，使用时要特别注意。下左图为谐波减速器的三相步进电机外形，右图为带谐波减速器，速比为1/50的三相RM型步进电机的速度-转矩特性。